ڌاتو روٽري ٽارگيٽ
آرٿوگونل مقناطيسي ۽ برقي شعبن کي اسپٽرنگ ٽارگيٽ (ڪيٿوڊ) ۽ انوڊ جي وچ ۾ لاڳو ڪيو ويو آهي.۽ اعلي ويڪيوم چيمبر ۾ گھربل انٽ گيس (عام طور تي آر گيس) ڀريو.اليڪٽرڪ فيلڊ جي عمل هيٺ، آر گيس کي مثبت آئنز ۽ اليڪٽرانن ۾ ionized ڪيو ويو آهي.هڪ خاص منفي هاء وولٽيج ٽارگيٽ تي لاڳو ٿئي ٿو، ٽارگيٽ ذريعي خارج ٿيل اليڪٽران مقناطيسي فيلڊ کان متاثر ٿين ٿا، ڪم ڪندڙ گئس جي آئنائيزيشن جو امڪان وڌي ٿو، ڪيٿوڊ جي ويجهو هڪ اعلي کثافت پلازما ٺهيل آهي، ۽ آر آئنز متاثر ٿين ٿا. لورينٽز فورس طرفان.پوءِ ٽارگيٽ جي مٿاڇري تي اڏامڻ لاءِ تيز ڪريو، ۽ ٽارگيٽ جي مٿاڇري تي تيز رفتاري سان بمباري ڪريو، ته جيئن ٽارگيٽ تي ڦاٿل ايٽم موميٽم ڪنورشن جي اصول تي عمل ڪن، ٽارگيٽ جي مٿاڇري کان ذيلي ذخيري تائين اڏام ڪن، ۽ تيز رفتاري توانائي واري فلم جمع ڪن.
ھدف واري مواد جي استعمال جي شرح کي وڌيڪ بھتر ڪرڻ لاءِ، ھڪ گھمندڙ ڪيٿوڊ کي وڌيڪ استعمال جي ڪارڪردگيءَ سان ٺاھيو ويو آھي، ۽ ھڪ ٽائلر ھدف واري مواد کي اسپٽرنگ ڪوٽنگ لاءِ استعمال ڪيو ويندو آھي.اسپٽرنگ سامان جي بهتري لاءِ ٽارگيٽ کي فليٽ جي شڪل مان ٽيوبلر شڪل ۾ تبديل ڪرڻ جي ضرورت آهي، ۽ ٽيوبلر گھمڻ واري ٽارگيٽ جي استعمال جي شرح 70 سيڪڙو کان وڌيڪ ٿي سگهي ٿي، جيڪو گهڻو ڪري فليٽ ٽارگيٽ جي گهٽ استعمال جو مسئلو حل ڪري ٿو.
مصنوعات جو نالو | ڌاتو روٽري ٽارگيٽ |
مواد | W، Mo، Ta، Ni، Ti، Zr، Cr، TiAl |
گرم وڪرو سائيز | ID-133 / OD-157x 3191mm ID-133/OD-157 X 3855mm ID-160/OD-180x1800mm پڻ گراهڪن جي مخصوص ضرورتن جي مطابق عمل ڪري سگهجي ٿو |
MOQ | 3 ٽڪر |
پيڪيج | پلائي ڪاٺ جو ڪيس |
درخواست
اسپٽرنگ ڪوٽنگ هڪ نئين قسم جي جسماني وانپ ڪوٽنگ جو طريقو آهي.evaporation ڪوٽنگ جو طريقو سان مقابلي ۾، ان کي واضح فائدا آهن
ڪيترن ئي حصن ۾.ڌاتو sputtering ٽارگيٽ ڪيترن ئي شعبن ۾ استعمال ڪيو ويو آهي.گھمڻ واري ٽارگيٽ جي بنيادي درخواست.
■شمسي سيلز
■معماري گلاس
■خودڪار گلاس
■سيمي ڪنڊيڪٽر
■فليٽ اسڪرين ٽي وي، وغيره
آرڊر جي ڄاڻ
پڇا ڳاڇا ۽ حڪم ھيٺ ڏنل معلومات شامل ڪرڻ گھرجي:
☑ھدف جي وضاحت ID × OD × L (mm).
☑گهربل مقدار.
☑وڌيڪ خاص ضرورتن لاءِ مهرباني ڪري اسان سان رابطو ڪريو.